首页

偏压电源有哪些结构？

发布时间：

2022-07-11 16:39

作者：

　　偏压电源有哪些结构?

　　偏压是指在涂覆过程中施加到基底上的负电压。偏置电源的阳极连接到真空室，真空室接地，偏置电源的阴极连接到工件。那么，偏压电源有哪些结构?

偏压电源

　　偏压电源有哪些结构?

　　1、输入部分：由断路器CB1、软启动接触器K1、主接触器K2、软启动电阻R1-R3等组成。

　　2、整流滤波：由三相整流膜D1、滤波电容C1和C2、放电电阻R4和R5等组成。

　　3、稳压系统：由开关稳压器Q5、续流二极管D2、调压控制板ZLTY、调压驱动板ZPQD、输出滤波电容C3和C4、放电电阻R5和R6等组成。

　　4、高频转换与隔离：高频转换由开关模块Q1-Q4、驱动板HPFQD、控制板HPZK3等组成。隔离多绕组高频变压器T1完成。

　　5、输出电压切换：由KL、KM、KH等组成。

　　6、高频整流：由D2和外围吸收电路组成。

　　7、电流和电压检测：LEM。A2，LEM。A3和电压检测板ZLAV。

　　偏压电源安装有哪些?

　　1、用高绝缘导线将BOMBOUT处的黑色端子与涂布机设备的偏置输入端可靠连接，用高绝缘导线将接地标志处的红色端子与设备外壳(接地)可靠连接。此线由耐电压2000V(AC)的软铜线制成。20KW以下电源截面积为16mm2，25-30kW电源为15mm2，40-60kW电源为50mm2，80KW电源为75mm2，100KW电源为95mm2，120KW电源为120mm2。电源和输出线应完全绞合，阳极(接地线)应连接到设备偏置输入的近点。

　　2、橡套供电线路中，A B C分别与电网三相火线(不分相序)相连，N(较细的黑色或黄绿色线)与电网零线相连。

　　3、将电源的安全接地标志可靠接地，接地电阻10Q。

　　4、弹II系列偏置电源中0C航空插座引脚定义引出控制显示线。使用14线屏蔽磁线和0C-12针屏蔽层与外部控制电路的模拟地相连。

　　5、在进水口处安装电磁阀，并连接控制管线。

　　6、水入为冷却水的入口端，与清水(或去离子水)源相连，水出为冷却水的出口端，与冷却水的回流端相连。入口水温20-30摄氏度，压力0.15-0.05兆帕。

关键词：

双极脉冲偏压电源,直流磁控溅射电源,偏压电源

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

偏压电源有什么作用？都用在哪里？