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产品介绍
SS-III2系列直流脉冲磁控溅射电源技术规格 |
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SS-III2系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极性脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶面电弧,减少靶材颗粒对涂层的污染。SS-III2系列磁控溅射电源输出脉冲频率最高达400KHz,大大的抑制了靶材的电弧能量,减小靶材颗粒,有效改善了膜层的致密性。电源适用高端金属膜层及反应膜层溅射沉积。 |
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电源功率范围 |
5/10/20/30/40KW |
输入电源 |
三相四线制380V±10%50-60Hz |
输出方式 |
单极性脉冲 |
脉冲频率 |
100-400KHz |
脉冲占空比 |
10-90% |
输出电压 |
空载1000V[峰值电压] |
输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
灭弧时间 |
≤1uS |
输出精度 |
优于1% |
冷却方式 |
3-12KW风冷 20-120KW水冷 |
辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露,限于水冷机型) |
使用环境 |
环境温度: 0-40℃ 环境湿度: 相对湿度≤85% 空气清洁: 无粉尘、无腐蚀性、易燃性气体,通风良好 |
冷却水 |
清洁:不含矿物质及其他可溶性物质 水温:20-30℃ 压力:0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟量/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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