BOMB VD系列偏压电源

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中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压

营业执照

BOMB VD系列偏压电源技术规格
BOMB VD系列偏压电源具有负向直流叠加负向脉冲/负向单极性脉冲/负向直流三种输出方式，电源叠加的负向直流电压和负向脉冲电压独立调节，脉冲频率及占空比独立调节。灵活的输出方式适用于硬质膜层、装饰膜层以及工艺开发等多种应用环境，特别是负向直流叠加负向脉冲的输出方式，在控制工件温度的同时，所叠加负向直流电压有效维持了偏压的连续状态，对工具镀膜十分有利。本系列电源采用数字控制系统，具有完善的故障检测系统，便捷的参数设置，丰富的控制接口。
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
电源功率范围	20/30/40/50/60/80/100KW
副电源功率	6/12/20/30/40KW适配
输出方式	负向直流叠加负向单极性脉冲/负向单极性脉冲/负向直流
脉冲频率	1KHz-100KHz
脉冲占空比	10-90%
输出电压	0-200V 0-500V 0-1000V[脉冲峰值电压]
副电源输出电压	DC0-120V
灭弧时间	≤1µS
输出精度	优于1％
冷却方式	水冷
监测项目	电网欠压、过压、缺相，电源过热、超温、结露、过载、联锁
运行环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟量/RS485/RS232/PROFIBUS/以太网
外形尺寸	20KW见图4，30/40/50/60/80KW见图5,100KW见图8
重量(实际重量因产品设计变更可能差异较大)	20KW60kg, 30KW115kg, 40KW132kg, 50/60KW152kg, 80KW160kg，100KW353kg
说明：电源的输出参数可根据使用需要作相应调整