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SAMD 系列多弧磁场电源

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SAMD
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产品介绍
参数

SAMD系列多弧磁场电源技术规格

SAMD系列多弧磁场电源工作于高频变换模式,单极脉动方式输出,电压、频率、占空比独立调整。SAMD系列电源主要用于多弧离子镀膜机弧靶的动态磁场扫描,调节等离子体放电角度,加快弧斑运动速度,减少靶材液滴形成。

电源功率范围

3/6/12/20/30/40/60KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

脉冲

脉冲频率

1-50HZ

脉冲宽度

10-90%

输出电压

空载60V

输出精度

优于1%

冷却方式

3-12KW风冷 20-60KW水冷

辅助功能

高温、结露报警(限于水冷机型)

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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