邮箱：sash@sash.com.cn 中文版 | English
产品中心
联系我们
SAMD 系列多弧磁场电源
产品介绍
|
SAMD系列多弧磁场电源技术规格 |
|
|
SAMD系列多弧磁场电源工作于高频变换模式，单极脉动方式输出,电压、频率、占空比独立调整。SAMD系列电源主要用于多弧离子镀膜机弧靶的动态磁场扫描，调节等离子体放电角度，加快弧斑运动速度，减少靶材液滴形成。 |
|
|
电源功率范围 |
3/6/12/20/30/40/60KW |
|
输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
|
输出方式 |
脉冲 |
|
脉冲频率 |
1-50HZ |
|
脉冲宽度 |
10-90％ |
|
输出电压 |
空载60V |
|
输出精度 |
优于1％ |
|
冷却方式 |
3-12KW风冷 20-60KW水冷 |
|
辅助功能 |
高温、结露报警（限于水冷机型） |
|
使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
|
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
|
通讯方式 |
RS485/RS232 |
|
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
|
关键词： SAMD
我要咨询
如果您对我们的产品感兴趣，请留下您的电子邮件，我们将尽快与您联系，谢谢！
售前咨询
销售服务
售后服务1
售后服务2
Copyright © 唐山标先电子有限公司 All rights reserved 
冀公网安备 13028102000201号 | SEO | 营业执照
中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压