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产品介绍
SSIV系列双极性脉冲磁控溅射电源技术规格 |
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SSIV系列双极性脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,双极性脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。SSIV系列双极性脉冲磁控溅射电源,在一个溅射脉冲结束时立即发送一100V左右的反向脉冲到磁控溅射靶,主动中和靶材表面积累电荷,从而抑制靶面电弧发生,避免了靶材颗粒对涂层的污染。由于上述特点,SSIV系列双极性脉冲磁控溅射特别适用高端反应膜层溅射沉积。 |
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电源功率范围 |
5/10/20/30/40KW |
输入电源 |
三相四线制380V±10%50-60Hz |
输出方式 |
双极性脉冲 |
脉冲频率 |
1-150KHz |
脉冲占空比 |
40-90% |
输出电压 |
空载1000V[峰值电压] |
反向电压 |
100V |
输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
灭弧时间 |
≤1uS |
输出精度 |
优于1% |
冷却方式 |
5-10KW风冷;20-40KW水冷 |
辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露限于水冷机型) |
使用环境 |
环境温度:0-40℃ 环境湿度:相对湿度≤85% 空气清洁:无粉尘、无腐蚀性、易燃性气体,通风良好 |
冷却水 |
清洁:不含矿物质及其他可溶性物质 水温:20-30℃ 压力:0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟量/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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