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SSPH 系列磁控溅射电源

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SSPH
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产品介绍
参数

SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格

SSPH系列高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)电源工作于二级高频变换模式,直流脉冲输出。单个脉冲可输出2-8兆瓦的峰值功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ,并且不含靶材颗粒,本系列电源制备的涂层表现出良好的结合力和致密性,适用于硬质膜层及高端装饰膜层制备。

电源功率范围

15/20/30/40KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

单极性窄脉冲

脉冲宽度

5-250uS

脉冲频率

最高500HZ

输出电压

空载1000-2000V

输出电流

1200A 2400A 3600A 4800A

灭弧时间

≤1uS

负载持续率

100%

冷却方式

风冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

通讯方式

RS485/RS232

说明:电源的输出功率可根据使用需要作相应调整

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