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SAZ 系列弧电源
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SAZ300
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产品介绍
参数
SAZ型真空电弧离子镀弧电源技术规格 |
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SAZ型弧电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电路采用零电压开关(ZVS)技术,损耗低,电磁兼容性好,用电流传感器作为电流取样,有较高的电流稳定率。由于电源功率较大,全系列采用水冷,适用于大型平面靶及柱状靶以及长时间镀膜使用。 |
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电源功率 |
SAZ-250型8.5KW SAZ-315型11KW SAZ-400型14KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10%50-60Hz |
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输出电压 |
空载80V |
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输出电流 |
SAZ-250型260A SAZ-315型320A SAZ-400型410A |
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输出精度 |
优于1% |
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冷却方式 |
水冷 |
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辅助功能 |
高温、结露报警 |
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负载率 |
100% |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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无
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