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SAZ 系列弧电源

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SAZ300

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SAZ300
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产品介绍
参数

SAZ型真空电弧离子镀弧电源技术规格

SAZ型弧电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电路采用零电压开关(ZVS)技术,损耗低,电磁兼容性好,用电流传感器作为电流取样,有较高的电流稳定率。由于电源功率较大,全系列采用水冷,适用于大型平面靶及柱状靶以及长时间镀膜使用。

电源功率

SAZ-250型8.5KW  SAZ-315型11KW  SAZ-400型14KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出电压

空载80V

输出电流

SAZ-250型260A SAZ-315型320A SAZ-400型410A

输出精度

优于1%

冷却方式

水冷

辅助功能

高温、结露报警

负载率

100%

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

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