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SHC II 系列空心阴极电源

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SHC II

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SHC II
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产品介绍
参数

SH-Ⅱ系列空心阴极真空镀膜电源

本系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源(HCD枪)实现金属材料蒸发的电源设备,采用高频开关技术,系统集成度高,工作效率高,性能稳定。

系统组成

引束电源

用于空心阴极产生等离子体电子束的引导电源

主束电源

用于维持空心阴极产生等离子体电子束的工作电源,高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发

聚焦电源

用于聚焦及偏转电子束,修正电子束与靶材的位置关系

枪集束电源

用于初步聚焦电子枪电子束

工作要求

输入电源           

三相四线制380V±10%50-60Hz

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水要求

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

主束电源性能参数

电源功率范围

20/30KW

输出空载电压

0-150V

输出电流精度

优于1%

冷却方式

水冷

引束电源性能参数

电源功率范围

6/12KW

输出空载电压

800V

输出电流精度

优于1%

冷却方式

风冷     

聚焦电源性能参数

电源功率范围

2KW

输出空载电压

100V

输出电流精度

优于1%

冷却方式

风冷

枪集束电源性能参数

电源功率范围

300W

输出空载电压

15V

输出电流精度

优于1%

冷却方式

风冷

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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