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SST 系列磁控溅射电源

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SST

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产品介绍

参数

SST系列中频交流磁控溅射电源技术规格
SST系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流输出频率40KHZ。中频溅射电源以两个磁控溅射靶作为负载，双靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷得到到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围	3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
输出方式	交流正弦波
输出频率	40KHz
输出电压	空载1200V[有效值]
输出特性	恒流/恒功率/恒压
灭弧时间	≤0.5uS
输出精度	优于1％
冷却方式	3-12KW风冷 20-120KW水冷
辅助功能	高温、结露、短路、开路指示及信号输出（高温、结露限于水冷机型）
使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整