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SST 系列磁控溅射电源
产品介绍
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SST系列中频交流磁控溅射电源技术规格 |
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SST系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流输出频率40KHZ。中频溅射电源以两个磁控溅射靶作为负载，双靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷得到到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
交流正弦波 |
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输出频率 |
40KHz |
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输出电压 |
空载1200V[有效值] |
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输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
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灭弧时间 |
≤0.5uS |
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输出精度 |
优于1％ |
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冷却方式 |
3-12KW风冷 20-120KW水冷 |
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辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出（高温、结露限于水冷机型） |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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关键词： SST
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