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BSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格
BSPH系列高功率脉冲磁控溅射（HiPMIS ,HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。单个脉冲可输出2-8兆瓦的峰值功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率，并且不含靶材颗粒，本系列电源制备的涂层表现出良好的结合力和致密性，可用于多种类功能膜层及高端装饰膜层制备。BSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源，可以在恒峰值电流/恒电压两种输出模式进行切换，可以由多台HiPMIS电源进行同频、同宽输出，当然也可以多台自由输出，具有非常好的组合性及现场适应性。
电源功率范围	20/40/60/80KW
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
输出方式	单极性窄脉冲
脉冲宽度	5-250uS
脉冲频率	最高10-1000Hz
输出电压	空载1000-2000V
输出电流	1200A 2400A 3600A 4800A
输出特性	恒峰值电流/恒电压
灭弧时间	≤1uS
负载持续率	100%
冷却方式	水冷
使用环境	环境温度：0-40℃ 环境湿度：相对湿度≤85％空气清洁：无粉尘、无腐蚀性、易燃性气体，通风良好
通讯方式	RS485/RS232
说明：电源的输出参数及控制模式可根据使用需要作相应调整