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产品介绍
SST2系列中频交流磁控溅射电源技术规格 |
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SST2系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流输出频率400KHz。中频溅射电源以两个磁控溅射靶作为负载,双靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷得到到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于沉积反应膜层。SST2系列中频磁控溅射电源输出频率为400KHz,较高频率提高了双靶工作交换速率,深度抑制积累电荷及电弧能量,反应膜层质量得到极大改善 |
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电源功率范围 |
5/10/20/30KW |
输入电源 |
三相四线制380V±10%50-60Hz |
输出方式 |
交流正弦波 |
输出频率 |
400KHz |
输出电压 |
空载1000V[有效值] |
输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
灭弧时间 |
≤0.5uS |
输出精度 |
优于1% |
冷却方式 |
5-10KW风冷;20-30KW水冷 |
辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露限于水冷机型) |
使用环境 |
环境温度:0-40℃ 环境湿度:相对湿度≤85% 空气清洁:无粉尘、无腐蚀性、易燃性气体,通风良好 |
冷却水 |
清洁:不含矿物质及其他可溶性物质 水温:20-30℃ 压力:0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟量/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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