SS III 系列磁控溅射电源

产品介绍

SS-III系列直流磁控溅射电源技术规格
SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出，电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时，溅射靶工作于高频率间歇状态，使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间，有利于抑制靶面电弧，减少靶材颗粒对涂层的污染，适用反应溅射膜层沉积。
电源功率范围	3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
输出方式	脉冲
脉冲频率	40KHZ
脉冲占空比	10-90％
输出电压	空载1000V[峰值电压]
输出特性	恒流/恒功率/恒压
灭弧时间	≤1uS
输出精度	优于1％
冷却方式	3-12KW风冷 20-120KW水冷
辅助功能	高温、结露、短路、开路指示及信号输出（高温、结露限于水冷机型）
使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整