BOMB IVD系列偏压电源

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中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压

营业执照

BOMB IVD系列偏压电源技术规格
BOMB IVD系列偏压电源具有正负双极性脉冲/负向单极性脉冲/负向直流三种输出方式，电源的正负电压独立调节，频率及占空比独立调节。由于电源输出具有双极性特征，可抑制工件表面积累电荷造成的打火现象，并改变膜层沉积规则，对膜层颜色有一定调节作用。电压与占空比分开调整，可实现高压低温沉积，完美匹配温度敏感工件及特殊颜色膜层制作，或工艺开发等多种应用环境。本系列电源采用数字控制系统，具有完善的故障检测系统，便捷的参数设置，丰富的控制接口。
电源功率范围	5/10/20/30/40/60/80/100 /120/160/180KW
副电源功率	6/12/20/30/40KW适配
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
输出方式	双极性脉冲/负向单极性脉冲/负向直流
脉冲频率	1KHz-100KHz
脉冲百分比	10-90%
输出电压	0-200V 0-500V 0-1000V[直流/脉冲峰值电压]
副电源输出电压	DC0-120V
灭弧时间	≤1µS
输出精度	优于1％
冷却方式	5KW/10KW风冷，其它水冷
监测项目	电网欠压、过压、缺相，电源过热、超温、结露、过载、联锁
运行环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟量/RS485/RS232/PROFIBUS/以太网
外形尺寸	5/10KW见图3，20/30/40KW见图4，60/80/100KW见图7，120/160/180KW见图8
重量(实际重量因产品设计变更可能差异较大)	5/10KW40kg, 20KW60kg, 30KW65kg, 40KW73kg, 60KW170kg, 80KW190kg, 100/120KW325kg, 160/180KW495kg
说明：电源的输出参数可根据使用需要作相应调整