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SS II 系列磁控溅射电源

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SS II

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SS II
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产品介绍
参数

SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格

SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源调节通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。该电源具有良好的电弧控制能力和负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。

电源功率范围

3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

直流

输出电压

空载800V

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤20uS

输出精度

优于1%

冷却方式

3-12KW风冷 20-120KW水冷

辅助功能

高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露限于水冷机型)

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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