产品中心

联系我们

SS II 系列磁控溅射电源

产品名称
产品名称
产品名称
浏览量:
1000

SS II

零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
Product ID
数量
-
+
库存:
0
所属分类
返回列表
关键词:
SS II
1
产品介绍
参数

SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格

SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源调节通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。该电源具有良好的电弧控制能力和负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。

电源功率范围

3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

直流

输出电压

空载800V

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤20uS

输出精度

优于1%

冷却方式

3-12KW风冷 20-120KW水冷

辅助功能

高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露限于水冷机型)

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
上一个
下一个

我要咨询

留言应用名称:
客户留言
描述:
验证码
 标先

服务咨询

 标先

技术咨询

 标先

销售服务

 标先

售后服务

地址:河北省遵化市建设南路黎河桥南2000米

电话:0315-6028838 / 6028868 / 6028898

网址:www.bovceed.com

           www.sash.com.cn

24小时服务热线:13582526663

Copyright © 2021 唐山标先电子有限公司 All rights reserved 冀ICP备19010580号-2

中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压