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BOMB IA 系列偏压电源

BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式，直流/单极脉冲任意方式输出，偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控制工件温升。

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偏压电源 BOMB IA

BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式，直流/单极脉冲任意方式输出，偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控制工件温升。

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偏压电源 BOMB IA

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产品介绍

参数

BOMB-IA系列偏压电源技术规格
BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式，直流/单极脉冲任意方式输出，偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控制工件温升。更宽频率脉冲输出及任意时刻直流输出满足特定工艺需求，偏压电源更适用于各类工具镀膜。
电源功率范围	40/60KW
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
输出方式	直流/脉冲
脉冲频率	10-80KHZ
脉冲百分比	10-90％连续调节
输出电压	0-300V 0-1000V[直流/峰值电压]
灭弧时间	≤1uS
输出精度	优于1％
冷却方式	水冷
辅助功能	高温、结露报警
偏压电源使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：偏压电源的输出特性可根据使用需要作相应调整