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BOMB IA 系列偏压电源
产品介绍
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BOMB-IA系列偏压电源技术规格 |
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BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式，直流/单极脉冲任意方式输出，偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控制工件温升。更宽频率脉冲输出及任意时刻直流输出满足特定工艺需求，偏压电源更适用于各类工具镀膜。 |
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电源功率范围 |
40/60KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
直流/脉冲 |
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脉冲频率 |
10-80KHZ |
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脉冲百分比 |
10-90％连续调节 |
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输出电压 |
0-300V 0-1000V[直流/峰值电压] |
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灭弧时间 |
≤1uS |
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输出精度 |
优于1％ |
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冷却方式 |
水冷 |
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辅助功能 |
高温、结露报警 |
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偏压电源使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：偏压电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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关键词：
偏压电源
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