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偏压电源 BOMB IA

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BOMB IA 系列偏压电源

产品名称
BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式,直流/单极脉冲任意方式输出,偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控制工件温升。
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偏压电源 BOMB IA

BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式,直流/单极脉冲任意方式输出,偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控制工件温升。
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偏压电源 BOMB IA
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产品介绍
参数

BOMB-IA系列偏压电源技术规格

BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式,直流/单极脉冲任意方式输出,偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控制工件温升。更宽频率脉冲输出及任意时刻直流输出满足特定工艺需求,偏压电源更适用于各类工具镀膜。

电源功率范围

40/60KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

直流/脉冲

脉冲频率

10-80KHZ

脉冲百分比

10-90%连续调节

输出电压

0-300V 0-1000V[直流/峰值电压]

灭弧时间

≤1uS

输出精度

优于1%

冷却方式

水冷

辅助功能

高温、结露报警

偏压电源使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:偏压电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

关键词:
偏压电源
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