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BOMB VS 系列偏压电源

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BOMB VS

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BOMB VS
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产品介绍
参数

BOMB-VS系列偏压电源技术规格

BOMB VS系列偏压电源工作于高频二级变换模式,有单极脉冲、直流叠加脉冲、低压直流三种输出方式,主电源电压、副电源电压、脉冲宽度独立调整。灵活的输出方式适用于硬质膜层、装饰膜层以及工艺开发等多种应用环境,特别是直流叠加脉冲的方式,在控制工件温度的同时,本底直流电压有效维持了偏压的连续状态,对工具镀膜十分有利。

电源功率范围

40/50/60/80KW [不包括副电源]

副电源功率

6KW/12KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

脉冲/ 直流叠加脉冲/低压直流

脉冲频率

40KHz

脉冲占空比

10-90%

输出电压

0-200V 0-500V 0-1000V [峰值电压]

副电源输出电压

DC0-100V

灭弧时间

≤1uS

输出精度

优于2%

冷却方式

水冷

辅助功能

高温、结露报警

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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