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BOMB VS 系列偏压电源
产品介绍
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BOMB-VS系列偏压电源技术规格 |
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BOMB VS系列偏压电源工作于高频二级变换模式，有单极脉冲、直流叠加脉冲、低压直流三种输出方式，主电源电压、副电源电压、脉冲宽度独立调整。灵活的输出方式适用于硬质膜层、装饰膜层以及工艺开发等多种应用环境，特别是直流叠加脉冲的方式，在控制工件温度的同时，本底直流电压有效维持了偏压的连续状态，对工具镀膜十分有利。 |
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电源功率范围 |
40/50/60/80KW [不包括副电源] |
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副电源功率 |
6KW/12KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
脉冲/ 直流叠加脉冲/低压直流 |
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脉冲频率 |
40KHz |
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脉冲占空比 |
10-90% |
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输出电压 |
0-200V 0-500V 0-1000V [峰值电压] |
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副电源输出电压 |
DC0-100V |
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灭弧时间 |
≤1uS |
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输出精度 |
优于2％ |
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冷却方式 |
水冷 |
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辅助功能 |
高温、结露报警 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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关键词： BOMB VS
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