BOMB IV 系列偏压电源

产品介绍

BOMB-IV系列偏压电源技术规格
BOMB-IV系列偏压电源工作于高频二级变换模式，正负双极性脉冲、反向单极性脉冲、反向直流三种输出方式，电源的正电压随动调节，频率及占空比独立调节。由于电源输出具有双极性特征，可抑制工件表面积累电荷造成的打火现象，并改变膜层沉积规则，对膜层颜色有一定调节作用，更适合电阻率高的TiC膜层大批量生产。电压与占空比分开调整，可实现高压低温沉积，电源适用于对温度敏感工件及特殊颜色膜层制作，或工艺开发等多种应用环境
电源功率范围	50KW/60KW/80KW/90KW/100KW /120KW /160KW /180KW
副电源功率	6KW/12KW/20/30/40 KW
输入电源	三相四线制380V±10％50-60Hz
输出方式	双极性脉冲/反向单极性脉冲/反向直流
脉冲频率	40KHz
脉冲百分比	0-100%
输出电压	0-220V 0-660V[直流/脉冲峰值电压]
副电源输出电压	DC0-120V
灭弧时间	≤1uS
输出精度	优于2％
冷却方式	水冷
辅助功能	高温、结露报警
使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整