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SSDH 系列磁控溅射电源
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SSDH
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产品介绍
参数
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SSDH系列中频交流磁控溅射电源技术规格 |
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SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ，用于化合物膜的沉积及相关工艺开发。 |
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电源功率范围 |
2-20KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
交流正弦波 |
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输出频率 |
100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ |
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输出电压 |
空载1000V[有效值] |
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输出特性 |
恒流、恒功率、恒压 |
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灭弧时间 |
≤0.5uS |
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输出稳定率 |
优于0.5％ |
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冷却方式 |
风冷 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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无
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无
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