当前位置:
首页
/
/
真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  • 分类:新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-25 10:28

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  • 分类:新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-25 10:28
详情

​  真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  离子镀膜其实就是离子溅射镀膜。对于导电靶,采用直流偏压电源。非导电靶,采用脉冲偏压电源。多弧离子镀膜机可能还需要DC弧电源或脉冲弧电源。那么,真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  实际上偏置电源就是在样品所在的阴极和阳极之间形成一个偏置电压场,通常是阴极加负高压。在电场的作用下,阴极表面的自由电子被定向加速发射,发射的电子轰击气体分子使其电离。而且被赶出气体的电子被电场加速,继续不断电离其他气体分子,形成雪崩效应,气体被击穿形成恒定电离电流。此时,离子也被加速,轰击靶,将靶中的原子赶出表面,沉积在样品表面。

 

偏压电源

 

  电弧有点像荧光灯上变频器和镇流器,加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速冲击。

  偏压电源的技术说明是什么?

  偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。由于电源的输出电压和脉冲宽度是独立调节的,因此在满足工艺所需电压的同时,通过改变脉冲宽度来控制工件的温升。电源适用于各种工具涂层和装饰涂层。

  简易隔离式偏压电源的设计原理是什么?

  1、同步降压电路提供隔离电源。

  2、这种电路被称为非对称半桥反激电路,其工作模式与同步降压调节器非常相似。连接到输入电压的FET图腾柱的输出将为电感电容滤波器供电。接下来,通过分压器和误差放大器的负输入调整滤波器输出。误差放大器将控制FET图腾柱输出的占空比,使得DC电压保持在感测点。

  3、C6的电压等于负载系数乘以输入电压。与降压功率级一样,电感的伏秒需要等于零。然而,在该电路中,电感增加了一个耦合绕组,并使用一个二极管来校正低位FET启动时反射的电感电压。由于在此期间电感电压等于输出电压,电路的输出将被调节。但一次侧和二次侧的压降差异会降低调节的效果。在该电路中,负载的电压调节会受到二极管D1直流电压降低的影响。如果将二极管改为场效应管,可以提高负载调节的效果。

 

关键词:

相关资讯

直流磁控溅射电源的制作方法
直流磁控溅射电源的制作方法
直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作,直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,那么,下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!
MORE
直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作,直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,那么,下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!
高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法
高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法
磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源,溅射材料主要以中性原子/自由基为主,溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下,离子能量只有几个电子伏左右,形成的等离子体离解率低,可控性差,难以优化沉积膜的质量和性能,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!
MORE
磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源,溅射材料主要以中性原子/自由基为主,溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下,离子能量只有几个电子伏左右,形成的等离子体离解率低,可控性差,难以优化沉积膜的质量和性能,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!
高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式
高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式
高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。 高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生,消除由此产生的薄膜缺陷,同时提高溅射沉积速度,降低沉积温度等一系列显着的优点,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!
MORE
高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。 高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生,消除由此产生的薄膜缺陷,同时提高溅射沉积速度,降低沉积温度等一系列显着的优点,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!
中频磁控溅射的效率如何提高?
中频磁控溅射的效率如何提高?
如何提高利用率是真空中频磁控溅射镀膜行业的重点,圆柱管靶利用高,但在有些产业是不适用,利用外加磁场捕捉电子,延长和束缚电子的运动路径,搞高离化率,增加镀膜速率。
MORE
如何提高利用率是真空中频磁控溅射镀膜行业的重点,圆柱管靶利用高,但在有些产业是不适用,利用外加磁场捕捉电子,延长和束缚电子的运动路径,搞高离化率,增加镀膜速率。
中频磁控溅射的技术介绍
中频磁控溅射的技术介绍
中频磁控溅射过程涉及复杂的散射过程和各种能量转移过程:首先,入射粒子与靶原子发生弹性碰撞,入射粒子的部分动能会转移到靶原子上。一些目标原子的动能超过了周围其他原子形成的势垒(金属为5-10eV),使其被撞出晶格,产生错位原子,并进一步与附近原子反复碰撞,产生碰撞级联,当这种碰撞级联到达靶面时,如果靠近靶面的原子的动能大于表面结合能(金属为1-6eV),这些原子就会与靶面分离,进入真空。
MORE
中频磁控溅射过程涉及复杂的散射过程和各种能量转移过程:首先,入射粒子与靶原子发生弹性碰撞,入射粒子的部分动能会转移到靶原子上。一些目标原子的动能超过了周围其他原子形成的势垒(金属为5-10eV),使其被撞出晶格,产生错位原子,并进一步与附近原子反复碰撞,产生碰撞级联,当这种碰撞级联到达靶面时,如果靠近靶面的原子的动能大于表面结合能(金属为1-6eV),这些原子就会与靶面分离,进入真空。
中频磁控溅射的原理介绍
中频磁控溅射的原理介绍
中频磁控溅射是一种物理气相沉积(PVD),通用溅射法可用于制备金属、半导体、绝缘体等材料,中频磁控溅射具有设备简单、易于控制、镀膜面积大、附着力强的优点,70年代发展起来的磁控溅射法已经实现了高速、低温、低损伤。
MORE
中频磁控溅射是一种物理气相沉积(PVD),通用溅射法可用于制备金属、半导体、绝缘体等材料,中频磁控溅射具有设备简单、易于控制、镀膜面积大、附着力强的优点,70年代发展起来的磁控溅射法已经实现了高速、低温、低损伤。
真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?
真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?
离子镀膜其实就是离子溅射镀膜。对于导电靶,采用直流偏压电源。非导电靶,采用脉冲偏压电源。多弧离子镀膜机可能还需要DC弧电源或脉冲弧电源。那么,真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?
MORE
离子镀膜其实就是离子溅射镀膜。对于导电靶,采用直流偏压电源。非导电靶,采用脉冲偏压电源。多弧离子镀膜机可能还需要DC弧电源或脉冲弧电源。那么,真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?
偏压电源有哪些结构?
偏压电源有哪些结构?
偏压是指在涂覆过程中施加到基底上的负电压。偏置电源的阳极连接到真空室,真空室接地,偏置电源的阴极连接到工件。那么,偏压电源有哪些结构?
MORE
偏压是指在涂覆过程中施加到基底上的负电压。偏置电源的阳极连接到真空室,真空室接地,偏置电源的阴极连接到工件。那么,偏压电源有哪些结构?
偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?
偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?
偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。那么,偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?
MORE
偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。那么,偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?
 标先

服务咨询

 标先

技术咨询

 标先

销售服务

 标先

售后服务

地址:河北省遵化市建设南路黎河桥南2000米

电话:0315-6028838 / 6028868 / 6028898

网址:www.bovceed.com

           www.sash.com.cn

售前咨询:13582526663

售后服务18675509316 13528444887 13931559024

Copyright © 2021 唐山标先电子有限公司 All rights reserved 冀ICP备19010580号-2

中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压 祥宇环保