当前位置:
首页
/
/
真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  • 分类:新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-25 10:28

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  • 分类:新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-25 10:28
详情

​  真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  离子镀膜其实就是离子溅射镀膜。对于导电靶,采用直流偏压电源。非导电靶,采用脉冲偏压电源。多弧离子镀膜机可能还需要DC弧电源或脉冲弧电源。那么,真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

  实际上偏置电源就是在样品所在的阴极和阳极之间形成一个偏置电压场,通常是阴极加负高压。在电场的作用下,阴极表面的自由电子被定向加速发射,发射的电子轰击气体分子使其电离。而且被赶出气体的电子被电场加速,继续不断电离其他气体分子,形成雪崩效应,气体被击穿形成恒定电离电流。此时,离子也被加速,轰击靶,将靶中的原子赶出表面,沉积在样品表面。

 

偏压电源

 

  电弧有点像荧光灯上变频器和镇流器,加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速冲击。

  偏压电源的技术说明是什么?

  偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。由于电源的输出电压和脉冲宽度是独立调节的,因此在满足工艺所需电压的同时,通过改变脉冲宽度来控制工件的温升。电源适用于各种工具涂层和装饰涂层。

  简易隔离式偏压电源的设计原理是什么?

  1、同步降压电路提供隔离电源。

  2、这种电路被称为非对称半桥反激电路,其工作模式与同步降压调节器非常相似。连接到输入电压的FET图腾柱的输出将为电感电容滤波器供电。接下来,通过分压器和误差放大器的负输入调整滤波器输出。误差放大器将控制FET图腾柱输出的占空比,使得DC电压保持在感测点。

  3、C6的电压等于负载系数乘以输入电压。与降压功率级一样,电感的伏秒需要等于零。然而,在该电路中,电感增加了一个耦合绕组,并使用一个二极管来校正低位FET启动时反射的电感电压。由于在此期间电感电压等于输出电压,电路的输出将被调节。但一次侧和二次侧的压降差异会降低调节的效果。在该电路中,负载的电压调节会受到二极管D1直流电压降低的影响。如果将二极管改为场效应管,可以提高负载调节的效果。

 

关键词:

相关资讯

直流磁控溅射电源的制作方法
直流磁控溅射电源的制作方法
直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作,直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,那么,下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!
MORE
直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作,直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,那么,下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!
高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法
高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法
磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源,溅射材料主要以中性原子/自由基为主,溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下,离子能量只有几个电子伏左右,形成的等离子体离解率低,可控性差,难以优化沉积膜的质量和性能,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!
MORE
磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源,溅射材料主要以中性原子/自由基为主,溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下,离子能量只有几个电子伏左右,形成的等离子体离解率低,可控性差,难以优化沉积膜的质量和性能,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!
高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式
高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式
高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。 高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生,消除由此产生的薄膜缺陷,同时提高溅射沉积速度,降低沉积温度等一系列显着的优点,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!
MORE
高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。 高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生,消除由此产生的薄膜缺陷,同时提高溅射沉积速度,降低沉积温度等一系列显着的优点,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!
中频电源控制器电路操作维护
中频电源控制器电路操作维护
中频电源整个设备分成:整流器一部分、逆变一部分、控制器电路一部分、实际操作维护电路四一部分。整流器一部分:逆变回路采用全自动工作频率追踪用德国英飞凌 IGBT作电力电子器件让整个回路一直处于串联谐振运行状态,减少了消耗。
MORE
中频电源整个设备分成:整流器一部分、逆变一部分、控制器电路一部分、实际操作维护电路四一部分。整流器一部分:逆变回路采用全自动工作频率追踪用德国英飞凌 IGBT作电力电子器件让整个回路一直处于串联谐振运行状态,减少了消耗。
中频电源在输油管线加热里的运用
中频电源在输油管线加热里的运用
中频电源开关电源:是一种选用中频感应加热技术性提升加热质量的电源设备。通过现场调节,融合加热电缆线及输出功率,一般将工作频率调到500~800Hz,依据输出功率调节电流量,一般75kW的电源电压电流量在80A上下,93kW的开关电源在100A前后,根据中频变压器,输出电压在800V上下(串连输出电压为500V、600V、700V、800V),其加热和节能环保等运用效果十分明显。
MORE
中频电源开关电源:是一种选用中频感应加热技术性提升加热质量的电源设备。通过现场调节,融合加热电缆线及输出功率,一般将工作频率调到500~800Hz,依据输出功率调节电流量,一般75kW的电源电压电流量在80A上下,93kW的开关电源在100A前后,根据中频变压器,输出电压在800V上下(串连输出电压为500V、600V、700V、800V),其加热和节能环保等运用效果十分明显。
中频电源的主要特点有哪些?
中频电源的主要特点有哪些?
中频电源这个行业的发展前景是很好的,因为在使用的时候为企业带来的好处比较多,所以深受客户们的青睐,为了让大家更多的熟悉它,接下来我们就来讲述一下中频电源的主要特点?希望能给更多的人带来帮助。
MORE
中频电源这个行业的发展前景是很好的,因为在使用的时候为企业带来的好处比较多,所以深受客户们的青睐,为了让大家更多的熟悉它,接下来我们就来讲述一下中频电源的主要特点?希望能给更多的人带来帮助。
中频电源的工作原理?
中频电源的工作原理?
中频电源广泛的应用,由于具备各种优势特性,在市场上也是很受欢迎的一款产品。但是它在使用的时候也有很多需要了解的知识点,毕竟还有很多用户是不了解这些的。接下来小编就为大家来介绍一下中频电源的工作原理?感兴趣的话都是可以来阅读的。
MORE
中频电源广泛的应用,由于具备各种优势特性,在市场上也是很受欢迎的一款产品。但是它在使用的时候也有很多需要了解的知识点,毕竟还有很多用户是不了解这些的。接下来小编就为大家来介绍一下中频电源的工作原理?感兴趣的话都是可以来阅读的。
中频电源的基本简介?
中频电源的基本简介?
随着科学技术的不断进步以后,各行各业也得到了很大的发展,关于中频电源它的发展前景也是很不错的,所以的需求量不断增加,市面上也增加了不少的厂家,而我们作为生产商,在这里也是很有必要为大家讲述一下中频电源的基本简介,感兴趣的小伙伴可以一起来看看。
MORE
随着科学技术的不断进步以后,各行各业也得到了很大的发展,关于中频电源它的发展前景也是很不错的,所以的需求量不断增加,市面上也增加了不少的厂家,而我们作为生产商,在这里也是很有必要为大家讲述一下中频电源的基本简介,感兴趣的小伙伴可以一起来看看。
中频电源的故障排查
中频电源的故障排查
感应线圈故障:感应线圈是中频电源的负载。采用方形铜管制成,壁厚3~5MM。其常见故障如下:感应线圈漏电,可能引起线圈匝间点火,需要及时修理运行。
MORE
感应线圈故障:感应线圈是中频电源的负载。采用方形铜管制成,壁厚3~5MM。其常见故障如下:感应线圈漏电,可能引起线圈匝间点火,需要及时修理运行。
 标先

售前咨询

 标先

销售服务

 标先

售后服务1

 标先

售后服务2

地址:河北省遵化市建设南路黎河桥南2000米

电话:0315-6028838 / 6028868 / 6028898

网址:www.bovceed.com

           www.sash.com.cn

售前咨询:13582526663

售后服务18675509316 13528444887 13931559024

Copyright © 2021 唐山标先电子有限公司 All rights reserved 冀ICP备19010580号-2

中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压