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真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

发布时间：

2022-07-25 10:28

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　　真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

　　离子镀膜其实就是离子溅射镀膜。对于导电靶,采用直流偏压电源。非导电靶,采用脉冲偏压电源。多弧离子镀膜机可能还需要DC弧电源或脉冲弧电源。那么,真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

　　真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理是什么?

　　实际上偏置电源就是在样品所在的阴极和阳极之间形成一个偏置电压场,通常是阴极加负高压。在电场的作用下,阴极表面的自由电子被定向加速发射,发射的电子轰击气体分子使其电离。而且被赶出气体的电子被电场加速,继续不断电离其他气体分子,形成雪崩效应,气体被击穿形成恒定电离电流。此时,离子也被加速,轰击靶,将靶中的原子赶出表面,沉积在样品表面。

偏压电源

　　电弧有点像荧光灯上变频器和镇流器,加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速冲击。

　　偏压电源的技术说明是什么?

　　偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。由于电源的输出电压和脉冲宽度是独立调节的,因此在满足工艺所需电压的同时,通过改变脉冲宽度来控制工件的温升。电源适用于各种工具涂层和装饰涂层。

　　简易隔离式偏压电源的设计原理是什么?

　　1、同步降压电路提供隔离电源。

　　2、这种电路被称为非对称半桥反激电路,其工作模式与同步降压调节器非常相似。连接到输入电压的FET图腾柱的输出将为电感电容滤波器供电。接下来,通过分压器和误差放大器的负输入调整滤波器输出。误差放大器将控制FET图腾柱输出的占空比,使得DC电压保持在感测点。

　　3、C6的电压等于负载系数乘以输入电压。与降压功率级一样,电感的伏秒需要等于零。然而,在该电路中,电感增加了一个耦合绕组,并使用一个二极管来校正低位FET启动时反射的电感电压。由于在此期间电感电压等于输出电压,电路的输出将被调节。但一次侧和二次侧的压降差异会降低调节的效果。在该电路中,负载的电压调节会受到二极管D1直流电压降低的影响。如果将二极管改为场效应管,可以提高负载调节的效果。

关键词：

双极脉冲偏压电源,直流磁控溅射电源,偏压电源,中频电源

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