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直流磁控溅射电源的制作方法

发布时间：

2021-11-11 14:46

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　　直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作，直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现，那么，下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!

　　在以往的直流磁控溅射电源壳体技术中，在组装直流磁控溅射电源壳体时需要组合螺钉和螺母进行固定，在固定后需要拆卸的情况下需要旋转螺母进行旋松，其中固定的螺钉较多例如，在清扫散热罩面板时，需要卸下许多螺钉，另外，尘埃容易蓄积在散热罩上，需要反复安装和卸下，这样，螺钉在多次旋转后容易产生缺损，是受力情况难以旋转的一个因素

　　本实用新型的目的在于，组装上述背景技术中提出的直流磁控溅射电源壳体时需要将螺钉和螺母组合固定，固定后，需要拆卸时需要旋转螺母进行旋松，其中固定的螺钉较多，需要安装例如，在清扫散热罩面板时，需要卸下许多螺钉，另外，散热板掩模容易堆积灰尘，需要反复安装和拆卸，这样，螺钉在多次旋转后容易产生缺口，另外一方面，施力方法难以旋转

　　为了达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案。

　　一种组装容易的直流磁控溅射电源壳体，其特征在于，具备前端用螺钉固定在前面板上、后端用螺钉固定在背面板上的壳体、和吸气罩用螺钉固定在前面板的前端外面中央附近的位置上的前面板，在所述吸气罩的下方设有接触控制板所述触摸控制板通过壳体内部卡槽固定，且触摸控制板与电源电连接，在所述冷却水流出口的左侧且背板的后端外表面设有冷却水流入口，所述冷却水流出口和冷却水流入口与内部散热水冷板的铜水口连接，在所述冷却水流出口右上侧设有输出端子，所述输出端子经由壳体内部的卡槽固定连接于背板的外表面，在所述输出端子的右侧设有4芯输入插座，所述4芯输入插座经由壳体内部的卡槽固定连接于背板的外表面

　　优选地，所述可动装置具备：铰链，其前端外表面左右两端通过螺纹固定与铰链的一端连结，另外一端同样通过螺纹固定与背面板的后端外表面连结，固定曲壳，其前端外表面的左右两端通过螺纹固定能够以铰链为基点相对于背面板旋转，所述散热罩的中央部靠下端固定在所述固定曲壳的下方设有销，所述弹键通过焊接固定在后面板的外表面，所述固定曲壳与弹键处于相同的纵向放置方向，所述弹键内部的固定杆能够在弹键内上下移动.为了便于散热罩的清扫，使用了使用铰链、销、固定曲壳的可动装置。使用铰链，铰链的一端用螺钉固定在背面板的表面，另一端也同样用螺钉固定散热罩。也就是说，散热罩在使用时可以以铰链为基点相对于背面板转动，转动到一定角度时，可以用刷子清洁散热罩的后端，从而更容易清洁。不需要费时间的拆卸螺钉等固定部件，清扫后固定散热罩时，通过其下端的销插入固定曲壳内部，可以固定散热罩。该固定方式结构简单，通过销内部固定杆自身的重力压入固定曲壳内，更为实用。

　　以上介绍的就是直流磁控溅射电源的制作方法，如需了解更多，可随时联系我们!

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双极脉冲偏压电源,高功率脉冲磁控溅射,高功率脉冲磁控溅射电源,磁控溅射电源,直流磁控溅射,电源中频磁控溅射电源

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高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法