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偏压电源有什么作用?都用在哪里?

偏压电源有什么作用?都用在哪里?

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  • 发布时间:2022-05-10 13:51

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  偏压电源有什么作用?都用在哪里?

  

偏压电源

 

  真空镀膜机是目前非常常见的制造真空的机器设备,当前生活中使用的一切都离不开真空镀膜制造业。在真空镀膜机表面层镀膜的整个过程中,都使用电源。不同的原料,不同的工艺技术,不同的设备配置,使得真空镀膜的电源不同。

  要镀膜的表层称为基体,要镀膜的原料称为靶材。衬底和靶都在真空室中。表面层上的挥发性涂层通常加热靶材料,使得表面成分通过原子团或离子挥发。而且在基底表层析出,按照整个成膜过程(分散点-岛状结构-杂散结构-层状生长)形成薄膜。相对于溅射表面镀膜,可以简单解释为用电子或高能激光轰击靶材,表面成分以原子团或离子的形式溅射出来,终沉积在基片表面。经过整个成膜过程,终成膜。

  真空镀膜电源有很多种。先说偏压电源。

  多弧离子和磁控溅射镀膜技术的应用应采用偏压电源。只是因为磁控溅射的电离率远低于多弧离子镀,所以所需偏压电源的效率更低。

  偏压电源主要用于在多弧离子和磁控溅射表面镀膜的全过程中,在辉光清洗、离子轰击和薄膜沉积过程中,向待镀工件施加偏置电压。在离子轰击中,用来加速离子,增加离子轰击工件表面的能量,达到溅射清洗和薄膜结合的效果。在薄膜沉积中,它也用于增加离子能量,促进和改善薄膜生长,也用于改善薄膜结合。

  偏压电源有哪些应用?偏压电源的作用有哪些?

  一般偏压电源是指输出电压大于5000伏的电源。一般偏压电源的输出电压可以达到几万伏甚至几十万伏,或者更高。

  我们通常所说的偏压电源一般是指DC偏压电源,包括线性稳压高压电源和开关稳压高压电源。

  技术发展方向主要有两个,一个是改善电源,即高压大电流;二是降低电源体积,即高电压、小体积。

  减小电源的体积主要是为了提高电源的开关频率。高功率电源的体积往往较大,而小体积电源的电流和功率往往较低一点。此外,高转换效率、高负载、高精度和低纹波也是高压电源设计者的研究方向。

  偏压电源已广泛应用于医疗、工业无损检测、车站、海关检查等检测设备中,也广泛应用于雷达发射中。

  目前偏压电源的应用范围越来越广泛,对于工业电源的发展具有很高的价值,对于未来的发展还是非常可观的。

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