‌刀具涂层‌


用‌脉冲直流电源‌溅射钛靶,并通入氮气,在刀具表面沉积TiN、TiAlN等超硬涂层。脉冲功能可有效抑制靶材中毒和打弧,确保工艺稳定。同时,‌偏压电源‌为工件提供负偏压,吸引高能离子轰击,使膜层致密,结合力倍增。


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