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Product Description
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SH-Ⅱ系列空心阴极真空镀膜电源 |
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本系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源（HCD枪）实现金属材料蒸发的电源设备，采用高频开关技术,系统集成度高，工作效率高,性能稳定。 |
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系统组成 |
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引束电源 |
用于空心阴极产生等离子体电子束的引导电源 |
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主束电源 |
用于维持空心阴极产生等离子体电子束的工作电源，高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发 |
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聚焦电源 |
用于聚焦及偏转电子束，修正电子束与靶材的位置关系 |
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枪集束电源 |
用于初步聚焦电子枪电子束 |
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工作要求 |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水要求 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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主束电源性能参数 |
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电源功率范围 |
20/30KW |
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输出空载电压 |
0-150V |
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输出电流精度 |
优于1% |
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冷却方式 |
水冷 |
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引束电源性能参数 |
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电源功率范围 |
6/12KW |
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输出空载电压 |
800V |
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输出电流精度 |
优于1% |
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冷却方式 |
风冷 |
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聚焦电源性能参数 |
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电源功率范围 |
2KW |
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输出空载电压 |
100V |
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输出电流精度 |
优于1% |
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冷却方式 |
风冷 |
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枪集束电源性能参数 |
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电源功率范围 |
300W |
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输出空载电压 |
15V |
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输出电流精度 |
优于1% |
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冷却方式 |
风冷 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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