BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式,直流/单极脉冲任意方式输出,偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控制工件温升。

BOMB-IIIH系列偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。脉冲占空比10-90%空调。由于偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控制工件温升。

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