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偏压电源 BOMB IA
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BOMB-IA系列偏压电源工作于二级高频变换模式，直流/单极脉冲任意方式输出，偏压电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控制工件温升。
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