邮箱：sash@sash.com.cn 中文版 | English

当前位置：

偏压电源：直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些？

分类：新闻
作者：
来源：
发布时间：2022-07-05 11:17

偏压电源：直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些？

分类：新闻
作者：
来源：
发布时间：2022-07-05 11:17

详情

　　偏压电源：直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

　　偏置电源工作在二次高频转换模式，以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的，稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。那么，偏压电源：直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

　　偏压电源：直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

偏压电源

　　1、传统的电弧离子镀是在基底台上施加DC负偏压来控制离子轰击能量。

　　2、衬底温度的升高不利于在回火温度较低的衬底上沉积硬质薄膜。

　　3、高能离子轰击造成溅射严重，单纯通过提高离子轰击能量无法合成高反应阈值能量的硬质薄膜。在DC偏压电弧离子镀工艺中，为了抑制由于正离子持续轰击基片表面而导致的基片温度过高，主要采取降低沉积功率、缩短沉积时间、采用间歇沉积方法等措施来降低沉积温度。这些措施可以统称为能量控制方法。虽然这种方法可以降低沉积温度，但它也降低了膜的一些性能，以及生产效率和膜质量的稳定性。因此很难推广应用。

　　4、在脉冲偏压电弧离子镀过程中，由于离子以不连续的脉冲方式轰击基底表面，因此可以通过调节脉冲偏压的占空比来改变基底和表面之间的温度梯度，进而改变基底和表面之间的热平衡补偿效果，达到控制沉积温度的目的。这样，所施加的偏压的脉冲高度可以独立于工件温度进行调节(彼此影响很小或没有影响)，可以使用高压脉冲来获得高能离子的轰击效果，以改善薄膜的微结构和性能，并且可以通过降低占空比来降低沉积温度，从而降低离子轰击的总热效应。

　　偏压电源对薄膜层的影响有哪些?

　　1、层状结构、晶体结构取向、微观结构。

　　2、沉积速率。

　　3、大颗粒净化。

　　4、薄膜硬度。

　　5、层密度。

　　6、表面形貌学。

　　7、内应力。

　　偏压电源如何选购?

　　1、目测：电源重量，好的电源一般比较重。电源输出线，不要小看这些输出线，因为电源箱的输出功率一般都很大，即使很小的电阻也会造成很大的压降损耗。因此，优质电源必须使用粗导线。

　　2、散热片的材质：从外壳的细缝看，优质电源采用的是铝或者铜的散热片，又大又厚，高温下依然可以正常工作。

　　3、可以测试测量负载压降，选择压降小的电源。如果是ATX供电，所有的输出端子都可以暂停。首先，通过用GND短接PS-ON来测量空载输出电压。启动电源，输出电流在10A左右时测量电压。电压降越低，质量越好。

关键词：

上一个: 偏压电源有哪些结构？

下一个: 直流磁控溅射电源分类

上一个: 偏压电源有哪些结构？

下一个: 直流磁控溅射电源分类

直流磁控溅射电源的制作方法

2021-11-11

直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作，直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现，那么，下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!

高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法

2021-11-09

磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源，溅射材料主要以中性原子/自由基为主，溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下，离子能量只有几个电子伏左右，形成的等离子体离解率低，可控性差，难以优化沉积膜的质量和性能，那么，下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!

高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式

2021-11-08

高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生，消除由此产生的薄膜缺陷，同时提高溅射沉积速度，降低沉积温度等一系列显着的优点，那么，下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!

冶金工业轧制生产厂家亲睐中频电源

2023-03-21

现阶段，中频电源和中频电炉、恒温炉、热处理设备等金属熔炼生产线设备，以其熔炼种类拆换便捷、熔炼品质易于控制、使用灵便简易、特性高功率密度大、熔炼速度更快、热效高、熔炼便捷等众多优势遭受冶金工业轧制生产厂家亲睐。

中频电源的优势及详细介绍

2023-03-06

中频电源感应加热加工工艺节约原材料。与燃煤炉对比，生产制造一吨铸钢件少可节约建筑钢材原材料20-50KG。整个设备分成：整流器一部分、逆变电源一部分、控制器电源电路一部分、实际操作短路保护四部分。

中频电源为铸造业常见的废旧钢材冶炼厂

2023-02-20

1、中频熔炼炉开关电源为串联模式并且是单供电模式，每件电炉一套变电器、一套单供电系统中频电源系统软件;2、中频熔炼炉开关电源为串联模式并且是双供电模式，每件电炉一套变电器、一套并联谐振中频电源系统软件，每件电炉采用双炉体，与此同时供电的方法，双炉体具备与此同时工作中,一个炉体熔融和一个炉体提温、隔热保温、热处理的功效。

中频电源的基本介绍

2023-02-06

中频电源主要包含低压变压器、晶闸管、续流二极管、逆变器、联接电子整流器和逆变装置的直流电抗器及其对应的操纵回路保护回路。在使用过程中通常是减少其谐波的危害，其整流装置设计以增强电子整流器脉冲数做为谐波电流的有效措施。

中频电源控制器电路操作维护

2023-01-31

中频电源整个设备分成：整流器一部分、逆变一部分、控制器电路一部分、实际操作维护电路四一部分。整流器一部分：逆变回路采用全自动工作频率追踪用德国英飞凌 IGBT作电力电子器件让整个回路一直处于串联谐振运行状态，减少了消耗。

中频电源在输油管线加热里的运用

2023-01-05

中频电源开关电源：是一种选用中频感应加热技术性提升加热质量的电源设备。通过现场调节，融合加热电缆线及输出功率，一般将工作频率调到500~800Hz，依据输出功率调节电流量，一般75kW的电源电压电流量在80A上下，93kW的开关电源在100A前后，根据中频变压器，输出电压在800V上下(串连输出电压为500V、600V、700V、800V)，其加热和节能环保等运用效果十分明显。