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偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

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  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-05 11:17

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  偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

  偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。那么,偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

  偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

 

偏压电源

 

  1、传统的电弧离子镀是在基底台上施加DC负偏压来控制离子轰击能量。

  2、衬底温度的升高不利于在回火温度较低的衬底上沉积硬质薄膜。

  3、高能离子轰击造成溅射严重,单纯通过提高离子轰击能量无法合成高反应阈值能量的硬质薄膜。在DC偏压电弧离子镀工艺中,为了抑制由于正离子持续轰击基片表面而导致的基片温度过高,主要采取降低沉积功率、缩短沉积时间、采用间歇沉积方法等措施来降低沉积温度。这些措施可以统称为能量控制方法。虽然这种方法可以降低沉积温度,但它也降低了膜的一些性能,以及生产效率和膜质量的稳定性。因此很难推广应用。

  4、在脉冲偏压电弧离子镀过程中,由于离子以不连续的脉冲方式轰击基底表面,因此可以通过调节脉冲偏压的占空比来改变基底和表面之间的温度梯度,进而改变基底和表面之间的热平衡补偿效果,达到控制沉积温度的目的。这样,所施加的偏压的脉冲高度可以独立于工件温度进行调节(彼此影响很小或没有影响),可以使用高压脉冲来获得高能离子的轰击效果,以改善薄膜的微结构和性能,并且可以通过降低占空比来降低沉积温度,从而降低离子轰击的总热效应。

  偏压电源对薄膜层的影响有哪些?

  1、层状结构、晶体结构取向、微观结构。

  2、沉积速率。

  3、大颗粒净化。

  4、薄膜硬度。

  5、层密度。

  6、表面形貌学。

  7、内应力。

  偏压电源如何选购?

  1、目测:电源重量,好的电源一般比较重。电源输出线,不要小看这些输出线,因为电源箱的输出功率一般都很大,即使很小的电阻也会造成很大的压降损耗。因此,优质电源必须使用粗导线。

  2、散热片的材质:从外壳的细缝看,优质电源采用的是铝或者铜的散热片,又大又厚,高温下依然可以正常工作。

  3、可以测试测量负载压降,选择压降小的电源。如果是ATX供电,所有的输出端子都可以暂停。首先,通过用GND短接PS-ON来测量空载输出电压。启动电源,输出电流在10A左右时测量电压。电压降越低,质量越好。

 

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