当前位置:
首页
/
/
偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

  • 分类:新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-05 11:17

偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

  • 分类:新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-07-05 11:17
详情

  

  偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

  偏置电源工作在二次高频转换模式,以单极性脉冲方式输出。电源的电压调节是通过改变高频转换电路的电源电压来实现的,稳压电路的稳定率为1%。高频转换电路产生10-90%的脉冲电压。那么,偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

  偏压电源:直流偏压和脉冲偏压的区别有哪些?

 

偏压电源

 

  1、传统的电弧离子镀是在基底台上施加DC负偏压来控制离子轰击能量。

  2、衬底温度的升高不利于在回火温度较低的衬底上沉积硬质薄膜。

  3、高能离子轰击造成溅射严重,单纯通过提高离子轰击能量无法合成高反应阈值能量的硬质薄膜。在DC偏压电弧离子镀工艺中,为了抑制由于正离子持续轰击基片表面而导致的基片温度过高,主要采取降低沉积功率、缩短沉积时间、采用间歇沉积方法等措施来降低沉积温度。这些措施可以统称为能量控制方法。虽然这种方法可以降低沉积温度,但它也降低了膜的一些性能,以及生产效率和膜质量的稳定性。因此很难推广应用。

  4、在脉冲偏压电弧离子镀过程中,由于离子以不连续的脉冲方式轰击基底表面,因此可以通过调节脉冲偏压的占空比来改变基底和表面之间的温度梯度,进而改变基底和表面之间的热平衡补偿效果,达到控制沉积温度的目的。这样,所施加的偏压的脉冲高度可以独立于工件温度进行调节(彼此影响很小或没有影响),可以使用高压脉冲来获得高能离子的轰击效果,以改善薄膜的微结构和性能,并且可以通过降低占空比来降低沉积温度,从而降低离子轰击的总热效应。

  偏压电源对薄膜层的影响有哪些?

  1、层状结构、晶体结构取向、微观结构。

  2、沉积速率。

  3、大颗粒净化。

  4、薄膜硬度。

  5、层密度。

  6、表面形貌学。

  7、内应力。

  偏压电源如何选购?

  1、目测:电源重量,好的电源一般比较重。电源输出线,不要小看这些输出线,因为电源箱的输出功率一般都很大,即使很小的电阻也会造成很大的压降损耗。因此,优质电源必须使用粗导线。

  2、散热片的材质:从外壳的细缝看,优质电源采用的是铝或者铜的散热片,又大又厚,高温下依然可以正常工作。

  3、可以测试测量负载压降,选择压降小的电源。如果是ATX供电,所有的输出端子都可以暂停。首先,通过用GND短接PS-ON来测量空载输出电压。启动电源,输出电流在10A左右时测量电压。电压降越低,质量越好。

 

关键词:

相关资讯

直流磁控溅射电源的制作方法
直流磁控溅射电源的制作方法
直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作,直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,那么,下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!
MORE
直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作,直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,那么,下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!
高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法
高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法
磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源,溅射材料主要以中性原子/自由基为主,溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下,离子能量只有几个电子伏左右,形成的等离子体离解率低,可控性差,难以优化沉积膜的质量和性能,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!
MORE
磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源,溅射材料主要以中性原子/自由基为主,溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下,离子能量只有几个电子伏左右,形成的等离子体离解率低,可控性差,难以优化沉积膜的质量和性能,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!
高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式
高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式
高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。 高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生,消除由此产生的薄膜缺陷,同时提高溅射沉积速度,降低沉积温度等一系列显着的优点,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!
MORE
高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。 高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生,消除由此产生的薄膜缺陷,同时提高溅射沉积速度,降低沉积温度等一系列显着的优点,那么,下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!
中频电源的基本简介?
中频电源的基本简介?
随着科学技术的不断进步以后,各行各业也得到了很大的发展,关于中频电源它的发展前景也是很不错的,所以的需求量不断增加,市面上也增加了不少的厂家,而我们作为生产商,在这里也是很有必要为大家讲述一下中频电源的基本简介,感兴趣的小伙伴可以一起来看看。
MORE
随着科学技术的不断进步以后,各行各业也得到了很大的发展,关于中频电源它的发展前景也是很不错的,所以的需求量不断增加,市面上也增加了不少的厂家,而我们作为生产商,在这里也是很有必要为大家讲述一下中频电源的基本简介,感兴趣的小伙伴可以一起来看看。
中频电源的故障排查
中频电源的故障排查
感应线圈故障:感应线圈是中频电源的负载。采用方形铜管制成,壁厚3~5MM。其常见故障如下:感应线圈漏电,可能引起线圈匝间点火,需要及时修理运行。
MORE
感应线圈故障:感应线圈是中频电源的负载。采用方形铜管制成,壁厚3~5MM。其常见故障如下:感应线圈漏电,可能引起线圈匝间点火,需要及时修理运行。
中频电源的工作原理介绍
中频电源的工作原理介绍
中频电源的工作原理是由三相桥式全控整流电路将交流电整流为直流电,电抗器经过平滑后变为直流电。采用单相逆变桥将直流电流反向为一定频率(>1000~8000HZ)的单相中频电源。
MORE
中频电源的工作原理是由三相桥式全控整流电路将交流电整流为直流电,电抗器经过平滑后变为直流电。采用单相逆变桥将直流电流反向为一定频率(>1000~8000HZ)的单相中频电源。
中频电源结构和特点介绍
中频电源结构和特点介绍
中频电源由早期中频发电机组发展为可控硅变频电源,现在我们经过一个不断的发展和改进自己成为中国新一代的变频电源保护装置。
MORE
中频电源由早期中频发电机组发展为可控硅变频电源,现在我们经过一个不断的发展和改进自己成为中国新一代的变频电源保护装置。
中频磁控溅射的效率如何提高?
中频磁控溅射的效率如何提高?
如何提高利用率是真空中频磁控溅射镀膜行业的重点,圆柱管靶利用高,但在有些产业是不适用,利用外加磁场捕捉电子,延长和束缚电子的运动路径,搞高离化率,增加镀膜速率。
MORE
如何提高利用率是真空中频磁控溅射镀膜行业的重点,圆柱管靶利用高,但在有些产业是不适用,利用外加磁场捕捉电子,延长和束缚电子的运动路径,搞高离化率,增加镀膜速率。
中频磁控溅射的技术介绍
中频磁控溅射的技术介绍
中频磁控溅射过程涉及复杂的散射过程和各种能量转移过程:首先,入射粒子与靶原子发生弹性碰撞,入射粒子的部分动能会转移到靶原子上。一些目标原子的动能超过了周围其他原子形成的势垒(金属为5-10eV),使其被撞出晶格,产生错位原子,并进一步与附近原子反复碰撞,产生碰撞级联,当这种碰撞级联到达靶面时,如果靠近靶面的原子的动能大于表面结合能(金属为1-6eV),这些原子就会与靶面分离,进入真空。
MORE
中频磁控溅射过程涉及复杂的散射过程和各种能量转移过程:首先,入射粒子与靶原子发生弹性碰撞,入射粒子的部分动能会转移到靶原子上。一些目标原子的动能超过了周围其他原子形成的势垒(金属为5-10eV),使其被撞出晶格,产生错位原子,并进一步与附近原子反复碰撞,产生碰撞级联,当这种碰撞级联到达靶面时,如果靠近靶面的原子的动能大于表面结合能(金属为1-6eV),这些原子就会与靶面分离,进入真空。
 标先

服务咨询

 标先

技术咨询

 标先

销售服务

 标先

售后服务

地址:河北省遵化市建设南路黎河桥南2000米

电话:0315-6028838 / 6028868 / 6028898

网址:www.bovceed.com

           www.sash.com.cn

售前咨询:13582526663

售后服务18675509316 13528444887 13931559024

Copyright © 2021 唐山标先电子有限公司 All rights reserved 冀ICP备19010580号-2

中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压 祥宇环保