直流磁控溅射电源分类

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发布时间：2022-06-24 10:06

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　　溅射的分类，从简单到复杂，主要有DC溅射、直流磁控溅射电源、反应溅射、离子束溅射、磁控溅射等。其中直流磁控溅射电源应用较广泛的是各种薄膜的制备，如金属、半导体、合金、氧化物、化合物半导体等。以下是其中的几个。

　　1.DC溅射

　　DC溅射设备的主要部件是溅射室、电极、真空系统和气体通道。溅射靶和薄膜沉积基底分别放置在正电极和负电极上。在正负电极之间施加高电压以产生等离子体，这导致氩辉光放电。等离子体中的电子在电场的作用下加速到正极，在运动过程中与氩原子碰撞，产生Ar离子和电子。带负电荷的电子和带正电荷的Ar离子在电场作用下加速到正负能级，电子与氩原子再次碰撞，形成新的离子，Ar离子与安装在负电极上的靶材碰撞。适当能量的Ar离子轰击靶材，使靶材原子从靶材表面分离，沉积在基底上形成薄膜。

　　2.直流磁控溅射电源

　　直流磁控溅射电源的方法既可以溅射导体也可以溅射绝缘体，解决了DC溅射不能溅射绝缘体的缺点。直流磁控溅射电源将在靶上形成负偏压，使得溅射过程继续进行。当射频电压施加到目标上时，一个射频周期将被分成两个部分。在周期的前半段，由于电子的质量远小于Ar离子的质量，所以会以非常快的速度飞向靶材，与靶材表面的Ar离子发生中和反应，使靶材附近的电位降低。同时，大量电子在靶处迅速积累，电位降低，形成负电位，这样即使在正半周也会吸引Ar离子加速靶的运动，轰击靶。在负半周期中，溅射发生的速率是上半周期的几倍。因此，直流磁控溅射电源不仅发生在负半周，也发生在正半周，可以显著提高镀膜效率。

　　但在直流磁控溅射电源的过程中，会产生大量的二次电子，二次电子会飞向基板，使基板温度升高，同时使基板上的涂层带电，损坏基板。

　　3.离子束溅射

　　离子束溅射是一种相对较新的溅射方法。在这种溅射方法中，可以有一个或两个离子源。相应地，离子束溅射法可以分为一次离子束溅射和二次离子束溅射。在一次离子束溅射中，离子束直接由靶膜组分离子组成，其能量较低，因此到达基片后沉积成膜。二次离子束溅射中的离子束由高能惰性气体离子(Ar离子)组成，轰击靶，将靶原子或原子团沉积在基片上。该结构的特征在于具有独立于靶和衬底的两个离子源。离子源1发射Ar离子，离子源2的主要作用是调控沉积的薄膜在某些方面表现出更好的性能。离子束溅射可以解决衬底温升的问题。另外，通过控制离子束的种类和能量，很容易制备各种成分的薄膜，特别适合制备多成分薄膜。

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下一个: 直流磁控溅射电源技术的应用现状和存在问题思考

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直流磁控溅射电源的制作方法

2021-11-11

直流磁控溅射电源在高频变换模式下工作，直流输出且电源电流的调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现，那么，下面一起了解下直流磁控溅射电源的制作方法吧!

高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法

2021-11-09

磁控溅射成膜工艺使用的电源为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、单极脉冲磁控溅射电源，溅射材料主要以中性原子/自由基为主，溅射机构为动能电源电压范围在Ikv以下，离子能量只有几个电子伏左右，形成的等离子体离解率低，可控性差，难以优化沉积膜的质量和性能，那么，下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的制作方法吧!

高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式

2021-11-08

高功率脉冲磁控溅射电源使用矩形波电压的脉冲电源代替传统的直流电源进行磁控溅射沉积。高功率脉冲磁控溅射电源技术可以有效地抑制电弧的产生，消除由此产生的薄膜缺陷，同时提高溅射沉积速度，降低沉积温度等一系列显着的优点，那么，下面一起了解下高功率脉冲磁控溅射电源的工作原理和工作方式吧!

冶金工业轧制生产厂家亲睐中频电源

2023-03-21

现阶段，中频电源和中频电炉、恒温炉、热处理设备等金属熔炼生产线设备，以其熔炼种类拆换便捷、熔炼品质易于控制、使用灵便简易、特性高功率密度大、熔炼速度更快、热效高、熔炼便捷等众多优势遭受冶金工业轧制生产厂家亲睐。

中频电源的优势及详细介绍

2023-03-06

中频电源感应加热加工工艺节约原材料。与燃煤炉对比，生产制造一吨铸钢件少可节约建筑钢材原材料20-50KG。整个设备分成：整流器一部分、逆变电源一部分、控制器电源电路一部分、实际操作短路保护四部分。

中频电源为铸造业常见的废旧钢材冶炼厂

2023-02-20

1、中频熔炼炉开关电源为串联模式并且是单供电模式，每件电炉一套变电器、一套单供电系统中频电源系统软件;2、中频熔炼炉开关电源为串联模式并且是双供电模式，每件电炉一套变电器、一套并联谐振中频电源系统软件，每件电炉采用双炉体，与此同时供电的方法，双炉体具备与此同时工作中,一个炉体熔融和一个炉体提温、隔热保温、热处理的功效。

中频电源的基本介绍

2023-02-06

中频电源主要包含低压变压器、晶闸管、续流二极管、逆变器、联接电子整流器和逆变装置的直流电抗器及其对应的操纵回路保护回路。在使用过程中通常是减少其谐波的危害，其整流装置设计以增强电子整流器脉冲数做为谐波电流的有效措施。

中频电源控制器电路操作维护

2023-01-31

中频电源整个设备分成：整流器一部分、逆变一部分、控制器电路一部分、实际操作维护电路四一部分。整流器一部分：逆变回路采用全自动工作频率追踪用德国英飞凌 IGBT作电力电子器件让整个回路一直处于串联谐振运行状态，减少了消耗。

中频电源在输油管线加热里的运用

2023-01-05

中频电源开关电源：是一种选用中频感应加热技术性提升加热质量的电源设备。通过现场调节，融合加热电缆线及输出功率，一般将工作频率调到500~800Hz，依据输出功率调节电流量，一般75kW的电源电压电流量在80A上下，93kW的开关电源在100A前后，根据中频变压器，输出电压在800V上下(串连输出电压为500V、600V、700V、800V)，其加热和节能环保等运用效果十分明显。