偏压电源

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BOMB IVD


BOMB IVD系列偏压电源具有正负双极性脉冲/负向单极性脉冲/负向直流三种输出方式,电源的正负电压独立调节,频率及占空比独立调节。由于电源输出具有双极性特征,可抑制工件表面积累电荷造成的打火现象,并改变膜层沉积规则,对膜层颜色有一定调节作用。电压与占空比分开调整,可实现高压低温沉积,完美匹配温度敏感工件及特殊颜色膜层制作,或工艺开发等多种应用环境。本系列电源采用数字控制系统,具有完善的故障检测系统,便捷的参数设置,丰富的控制接口。

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BOMB VD


BOMB VD系列偏压电源具有负向直流叠加负向脉冲/负向单极性脉冲/负向直流三种输出方式,电源叠加的负向直流电压和负向脉冲电压独立调节,脉冲频率及占空比独立调节。灵活的输出方式适用于硬质膜层、装饰膜层以及工艺开发等多种应用环境,特别是负向直流叠加负向脉冲的输出方式,在控制工件温度的同时,所叠加负向直流电压有效维持了偏压的连续状态,对工具镀膜十分有利。本系列电源采用数字控制系统,具有完善的故障检测系统,便捷的参数设置,丰富的控制接口。

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