邮箱:sash@sash.com.cn 中文版 | English
偏压电源厂家说说电弧离子镀技术中脉冲偏压作用的基本原理
发布时间:
2022-02-10 11:03
作者:
1)电弧离子镀中直流偏压的不足。电弧离子的理化率达60% ~ 90%,具有沉积速度快、膜气结合力强、镀层性好、反应沉积容易获得钛、氮化物等化合物涂层的优点,成为TiN型硬质薄膜不可替代的涂层工艺。但是传统的电弧离子镀总是直流的。下文偏压电源厂家说说电弧离子镀技术中脉冲偏压作用的基本原理。
然而偏压电源厂家认为,由于一定的直流负偏压,离子不断轰击基板,从面限制了:镀膜。
由于沉积温度相对较高(400 ~ 500),低回火温度和低熔点基板上电镀受到限制,膜层的内应力相对较大,较难堆积厚膜。
从阴极电弧源喷射大的金属液滴,使膜层组织粗糙。
偏压电源厂家认为直流偏置电源防止电弧速度慢、电弧功能下降,容易导致工作表面烧 伤。
2)电弧离子镀中脉冲偏压的出现。这是为了进一步降低沉积温度,克服其他不足。将电弧离子镀的传统直流偏压改为脉冲偏压,制成了脉冲偏压电弧离子镀。其典型异常状态偏置与时间关系。
在电弧离子镀中,脉冲电源主电路的各开关部件已采用IGBT。目前,单管IGBT的升降时间在150~400ns之间,开通和关闭时间大部分在400~800ns之间,功率容量已达到600A/1200V、300A/1700V的水平。
目前偏压电源厂家认为,我国脉冲偏置电源的设计和制造水平基本上可以满足电弧离子镀的科研和生产需求。典型的电源参数为3360频率5~80kHz,脉冲偏置大小可能重叠0~-1500V。DC偏置0~-300V、占空比5%~85%另外,不对称双极脉冲偏置电源也开始应用。
偏压电源厂家觉得使用脉冲偏置电源供电时,电压有中断间隔,在脉冲周期内断电。供电时间在脉冲周期中所占的比率称为占空比。通常,显示为' % '。在一个脉冲周期内间歇供电的时间由占空比控制。
通常在800~1000V高压下进行“主攻轰炸”时,占比控制在20%左右。
沉积钛、氮化物等化合物涂层时,将占用比例控制在80%左右。
上文是对“电弧离子镀技术中脉冲偏压作用的基本原理”的基本概述,大家自行参考一下吧。如果还有什么疑问的话,可以直接咨询我们或者关注我们。觉得文章不错的话也可以直接收藏。
关键词:
双极脉冲偏压电源,直流磁控溅射电源,偏压电源,中频电源
上一页
下一页
相关新闻
2021-11-11
2021-11-09
2021-11-08
2023-08-05
2023-04-06
2023-03-06
2023-02-20
2023-01-31
售前咨询
销售服务
售后服务1
售后服务2
Copyright © 唐山标先电子有限公司 All rights reserved 冀公网安备 13028102000201号 | SEO | 营业执照
中频电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲偏压电源、直流磁控溅射电源、磁控溅射电源、高功率脉冲磁控溅射电源、HPPMS、中频磁控溅射、双极脉冲偏压