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SST 系列磁控溅射电源

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SSTX
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产品介绍
参数

SST系列中频交流磁控溅射电源技术规格

SST系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流输出频率40KHZ。中频溅射电源以两个磁控溅射靶作为负载,双靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷得到到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。

电源功率范围

3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

交流正弦波

输出频率

40KHz

输出电压

空载1200V[有效值]

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤0.5uS

输出精度

优于1%

冷却方式

3-12KW风冷 20-120KW水冷

辅助功能

高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露限于水冷机型)

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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