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SS III 系列磁控溅射电源
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SS III X
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产品介绍
参数
SS-III系列直流磁控溅射电源技术规格 |
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SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶面电弧,减少靶材颗粒对涂层的污染,适用反应溅射膜层沉积。 |
|
电源功率范围 |
3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW |
输入电源 |
三相四线制380V±10%50-60Hz |
输出方式 |
脉冲 |
脉冲频率 |
40KHZ |
脉冲占空比 |
10-90% |
输出电压 |
空载1000V[峰值电压] |
输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
灭弧时间 |
≤1uS |
输出精度 |
优于1% |
冷却方式 |
3-12KW风冷 20-120KW水冷 |
辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出(高温、结露限于水冷机型) |
使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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