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产品介绍
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SS-III系列直流磁控溅射电源技术规格 |
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SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出，电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时，溅射靶工作于高频率间歇状态，使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间，有利于抑制靶面电弧，减少靶材颗粒对涂层的污染，适用反应溅射膜层沉积。 |
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电源功率范围 |
3/6/12/20/30/40/60/80/100/120KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
脉冲 |
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脉冲频率 |
40KHZ |
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脉冲占空比 |
10-90％ |
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输出电压 |
空载1000V[峰值电压] |
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输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
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灭弧时间 |
≤1uS |
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输出精度 |
优于1％ |
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冷却方式 |
3-12KW风冷 20-120KW水冷 |
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辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出（高温、结露限于水冷机型） |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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