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BOMB IV 系列偏压电源

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产品介绍
参数

BOMB-IV系列偏压电源技术规格

BOMB-IV系列偏压电源工作于高频二级变换模式,正负双极性脉冲、反向单极性脉冲、反向直流三种输出方式,电源的正电压随动调节,频率及占空比独立调节。由于电源输出具有双极性特征,可抑制工件表面积累电荷造成的打火现象,并改变膜层沉积规则,对膜层颜色有一定调节作用,更适合电阻率高的TiC膜层大批量生产。电压与占空比分开调整,可实现高压低温沉积,电源适用于对温度敏感工件及特殊颜色膜层制作,或工艺开发等多种应用环境

电源功率范围

50KW/60KW/80KW/90KW/100KW /120KW /160KW /180KW

副电源功率

6KW/12KW/20/30/40 KW

输入电源

三相四线制380V±10%50-60Hz

输出方式

双极性脉冲/反向单极性脉冲/反向直流

脉冲频率

40KHz

脉冲百分比

0-100%

输出电压

0-220V 0-660V[直流/脉冲峰值电压]

副电源输出电压

DC0-120V

灭弧时间

≤1uS

输出精度

优于2%

冷却方式

水冷

辅助功能

高温、结露报警

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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