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SAMD 系列多弧磁场电源
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SAMD
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产品介绍
参数
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SAMD系列多弧磁场电源技术规格 |
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SAMD系列多弧磁场电源工作于高频变换模式，单极脉动方式输出,电压、频率、占空比独立调整。SAMD系列电源主要用于多弧离子镀膜机弧靶的动态磁场扫描，调节等离子体放电角度，加快弧斑运动速度，减少靶材液滴形成。 |
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电源功率范围 |
3/6/12/20/30/40/60KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
脉冲 |
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脉冲频率 |
1-50HZ |
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脉冲宽度 |
10-90％ |
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输出电压 |
空载60V |
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输出精度 |
优于1％ |
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冷却方式 |
3-12KW风冷 20-60KW水冷 |
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辅助功能 |
高温、结露报警（限于水冷机型） |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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SAMD
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