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一、用途及主要技术指标 

危险！此电源具有最高1000V以上的直流工作电压，请谨慎操作 

1 用途 

SSⅢ-系列脉冲磁控溅射电源广泛用于磁控溅射模式的真空镀膜设备，由于 电源为高频直流脉冲输出，磁控溅射靶也同步于脉冲频率，即工作于高频率放电 /截止交替状态。在磁控溅射靶的截止期间，积累于靶材表面的电荷得到释放， 抑制了靶材弧光放电及表面中毒，同时高频脉冲输出方式快速限制了靶材电弧能 量，充分抑制了靶材放电对膜层的污染，因此脉冲磁控溅射电源特别适高质量的 反应膜层制备。SSⅢ-系列脉冲磁控溅射电源前后级均高频开关模式，具有良好 的稳定性及较高的工作效率。设置远程控制接口，可实现与自动化系统的联机控 制。